Stocker专为洁净车间设计,与OHT等自动化设备的协同作业构建起高效的自动物料搬运存储系统AMHS,根据生产计划和需求来优化物料流动
作为无尘车间内的临时存储库, Stocker可平衡设备及工艺间产能的差异,最大程度缩短晶圆在工艺设备间的流转时间,提高设备利用率;Stocker控制系统可自动向MCS系统更新对应物料的位置信息,实现物料的统一管理,提高工作效率的同时减少人员工作强度
Stocker内部可达到较高的洁净度,能够满足物料存储对洁净度的要求,同时库存和物料流动的实时追踪有助于快速定位和解决潜在问题,进而提升产品质量、实现制造过程的可追溯性
Stocker能够充分利用洁净车间的闲置面积及垂直空间,在相同占地面积中提高仓储容量,从而提高空间利用率