华星光电 - 虚拟量测应用

企业品质分析优化项目

客户挑战

半导体显示行业产品的种类越来越多,品质要求越来越高,与此同时市场变得短周期化,对于客制化的要求与日俱增,这些挑战都需要企业转变传统的制造思维,通过人工智能与制造结合,升级智造水平来保证高效率低成本的运作。

华星光电液晶面板生产制程经常受到各种来源的干扰造成品质偏移,为保证产品品质,常需要对在制品的关键参数进行检测,以保证工艺制程达标。而部分的检测没有办法在生产线上实时完成,所以只能采用抽检的方式来完成离线测量。导致无法及时发现不良品,容易造成批量式的返修或者报废,产生高额的资源和成本浪费。

半导体显示行业 华星光电

解决方案

格创东智基于东智工业边缘网关和IoT平台,采集制程的数据及抽检测量数据采集。其次通过分析面板产品上千个制程因子数据,快速精准的建立关键制程指标膜厚与品质量测特征值之间的关系,实现虚拟量测全检。同时系统会给出造成该异常的关键因子,让产线工程师及时分析异常原因并调整制程参数,防止大量异常产品的出现。除此之外,虚拟量测(VM)还可配置报警规则发报MES、OEE等系统,多系统联动控制,调整关键参数。同时,模型online运行时可周期性自动完成模型的调优工作,不断提升虚拟量测(VM)的预测准确性。

业务成果

半导体显示行业
  • 实现了实时的品质管控以及品质异常及时侦测
  • 降低了30%抽检频率,节省了大量的检测设备
  • 降低企业投资成本,提高了机台产能
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